XPS analysis of the activation process in non-evaporable getter thin films

  1. Lozano, M.P.
  2. Fraxedas, J.
Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 30

Nummer: 1

Seiten: 623-627

Art: Artikel

DOI: 10.1002/1096-9918(200008)30:1<623::AID-SIA719>3.0.CO;2-Y GOOGLE SCHOLAR