UHV reactive evaporation growth of titanium nitride thin films, looking for multipactor effect suppression in space applications

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Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 81

Nummer: 11-12

Seiten: 1493-1497

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.VACUUM.2007.04.007 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus