Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge
- Moreno-Marín, J.C.
- Abril, I.
- Garcia-Molina, R.
ISSN: 0734-2101
Año de publicación: 1999
Volumen: 17
Número: 2
Páginas: 528-534
Tipo: Artículo
ISSN: 0734-2101
Año de publicación: 1999
Volumen: 17
Número: 2
Páginas: 528-534
Tipo: Artículo