Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge

  1. Moreno-Marín, J.C.
  2. Abril, I.
  3. Garcia-Molina, R.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 17

Nummer: 2

Seiten: 528-534

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.581614 GOOGLE SCHOLAR

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