Spatial profile of deposited energy by the sputtered flux in a glow discharge

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Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1997

Volumen: 48

Número: 7-9

Páginas: 685-688

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0042-207X(97)00056-0 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible